АКУСТОСТИМУЛИРОВАННОЕ ПОВЫШЕНИЕ АДГЕЗИИ Au–nSI КОНТАКТОВ ПРИ КОМНАТНОЙ ТЕМПЕРАТУРЕ (Symposium on Natural and Applied Sciences, 2026)
В работе исследовано влияние ультразвуковых волн на адгезионную прочность золотых плёнок к кремнию n-типа при комнатной температуре (T ≈ 300 К). Эксперименты показали, что ультразвуковое воздействие приводит к значительному увеличению контактной разности потенциалов и напряжённости электрического поля между Au-плёнкой и Si-подложкой, что обусловливает рост адгезионной прочности более чем в 10 раз. Основным механизмом повышения адгезии является акустостимулированное увеличение концентрации ионизированных центров в приповерхностной области полупроводника. Полученные результаты открывают перспективы создания прочных Au–Si контактов без высокотемпературного термоотжига.